儀器名稱：X 射線衍射系統

品牌:  布魯克

型號：D8 DISCOVER

產地：德國

儀器介紹：

1. 采用創造性的達芬奇設計，配備了集成化的DIFFRAC.SUITETM軟件，附件自動識別、即插即用以及完全集成化的二維XRD2功能。

2. 高分辨XRD(HRXRD)，外延多層膜厚度，晶胞參數，應變及弛豫過程。

3. X射線反射率(XRR)，薄膜厚度，組份，粗糙度，密度。

4. 倒易空間圖譜(RSM)，晶胞參數，晶格錯配，組份，橫向結構。

5. 面內掠入射衍射 (in-plane GID)，掠入射小角X射線散射(GISAXS)，晶胞參數，晶格錯配，物相組成，孔隙度。

6. 應力和織構分析，取向分布，取向定量，硬度。

7. 物相鑒定(Phase ID)，物相組成，晶格對稱性，晶粒大小。